拥有特征的石英水晶振子的制作方法和用途
来源：http://konuaer.net 作者：konuaer 2014年03月11
石英水晶振子在日本晶体行业中是长叫的一种关键词,有时候也叫水晶振动子,就像我们在中国叫的晶振一样,因此这两个名词是相同的意思,只是地域不同影响叫法不同.康华尔电子有个专栏“晶振行业博客”是介晶振的所有知识,大家有兴趣的话可以多了解一点有关晶振的知识。好了题外话我也就不多说了，我们接下来要讲的是《拥有特征的石英水晶振动子制作方法和用途》。
本发明的，振动型之类被利用了石英水晶振动子的制作方法有关，尤其是表面外振动的泄漏震动产生抑制的制造方法有关的。振动型陀螺仪传感器等被利用音叉型水晶振动子，石英水晶片从规定的形状的水晶振动子说出工程，水晶振动子振荡让为了的电极形成的工程，电极形成的水晶振动子容器实施工程等的不同制造被。特别是，水晶振动子形状的振动决定水晶振动子的性能的影响很大，为了水晶晶片水晶振动子说出外形形成工程重要的工程。
在这里，石英振动子200的外形，在水晶晶片开始蚀刻加工等引起的外形形成工程而被砍伐。这个水晶振动子200，振动型陀螺仪传感器和被用振动子，振动脚和2个驱动脚201，202和一条检测脚203和有三脚架音叉型振动子。水晶振动子200，例如振动型陀螺传感器和用于场合，如图1所示的X轴方向弯曲振动驱动振动，Z′轴方向弯曲振动角速度外加场合被查出的振动和使用。因此，角速度外加状态是Z′轴方向的振动不发生。
这是，水晶振动子的加工精度及水晶的各向异性等原因，驱动振动（X轴方向的振动）之外，还有水晶振动子200角速度外加状态中发生不得面外振动（Z′轴方向的振动）发生的。
驱动脚201，202斜振动的话，检测脚203尖端的轨迹，Z′轴方向的直线性的振动，或，X - Z′面内椭圆振荡。这个Z′轴方向的振动成分泄漏振动，被称为根据这个泄漏振动检测脚203检测从电极是科里奥利输出和无关的泄漏信号发生，陀螺传感器的S / N比恶化，或温度特性恶化等的问题有了。
此外，标准的周波数发生用等的通常用途音叉型石英振荡器的情况，振动X轴方向弯曲振动利用着，Z′方向成分的泄漏振动水晶阻抗（CI值）的上升，使得特性的恶化导致的问题有了。泄漏振动，水晶振动脚截面形状的制造的偏差的影响的。特别是，显示，水晶振动子蚀刻制造时形成的残水晶渣形状的偏差的影响的。即，水晶蚀刻各向异性，结晶的方向而腐蚀速度不同的聚酰亚胺。为此，蚀刻后的水晶振动子中的振动脚的侧面是均匀蚀刻不被残有残る渣。
一般来说，梁等弯曲考虑场合，断面的主轴被考虑。断面的主轴，正交2根轴组成，梁主轴同方向弯曲力的话，梁力和同方向弯曲。另一方面，与主轴不同方向弯曲力眼镜的情况下，梁力上了方向不同的方向弯曲。水晶振动子的场合，压电效果弯曲力花费，X轴方向。因此，主轴的一方X軸和同样的话，振动X轴方向发生、不发生泄漏振动。另一方面，主轴是X轴偏离Z′方向倾斜的话，弯曲力的方向和主轴花费的方向一致，所以不振动Z′轴成份的斜振动，成为振动发生泄漏。主轴，其梁（振动脚）的截面形状来决定。简单的例子，对称轴的断面方面，其对称轴及还有垂直的轴其断面的主轴。例如，长方形的断面的话，各边的平分线各自主轴。
泄漏的水晶振动子振动不想得到的场合，主轴的一方X轴平行的必要。主轴是正交2根轴，所以X轴吗Z′轴平行的对称轴断面有，X轴平行的主轴的存在。也就是说，截面形状上下对称吗，左右对称的话是不发生泄漏振动。
已经说明的例子一样地石英水晶振子制造时，有了这种对称轴振动子得到是否考虑一下。水晶振动子潮湿蚀刻进行生产，振动脚侧面必定有残る残渣。因此，这可以残渣的方式不同，断面的主轴被决定。水晶振动子的断面的主轴的考虑，首先残渣怎么会有必要考虑。残渣的形状，蚀刻的时间和条件不同，所以不能一概不能说，不过，大体上同样的倾向前进，所以在这里发明者进行的实验条件会观察的结果的基础上残渣的方式说明会。
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以上的这些本发明的第6的制造方法来看，水晶晶片的表里两面配设被腐蚀面罩之间互相规定量偏离配设会形成的水晶振动子的外形特徴付け了水晶振动子的泄漏振动方向的预先見積もれる，所以这个泄漏振动方向的基础上具备缺口部电极驱动的腿上就能形成。这个结果，制造上的偏差的面具的错位等影响不被再腐蚀工程所泄漏振动能调整，高精度泄漏振动被调整的水晶振动子可以提供。
电极形成过程中，驱动脚的电极预先缺口部，形成了这个缺口部调整区域再蚀刻的事，石英晶振的泄漏振动调整，晶片内泄漏量的偏差很大等的情况，预先形成的缺口部以外，激光加工等不同电极的加工、水晶面露出的缺口部再追加形成也行。这个电极追加加工工序，例如，第4的制造方法的时候，泄漏量测量过程（步骤ST 53）后可以追加。这个电极加工工序增添，泄漏量的调整范围，每每个元件能够扩大，所以晶片内的泄漏量的偏差很大的场合，有不良品和不泄漏量调整良品可能够扩展。
另外，泄漏振动方向估计的外形而形成的特征是，加上单面口罩和口罩交错被限定，而其他的方法也发明适用。另外，本发明实施方式提出的流程图和外形图等，这被限定，而是本发明的摘要，满足的东西的话，任何变更为好。
水晶振动子的制造方法，小型高精度泄漏振动被调整的水晶振动子以低成本提供，为了能小型高精度的陀螺传感器用水晶振动子的制造方法和颇适合。
本发明的，振动型之类被利用了石英水晶振动子的制作方法有关，尤其是表面外振动的泄漏震动产生抑制的制造方法有关的。振动型陀螺仪传感器等被利用音叉型水晶振动子，石英水晶片从规定的形状的水晶振动子说出工程，水晶振动子振荡让为了的电极形成的工程，电极形成的水晶振动子容器实施工程等的不同制造被。特别是，水晶振动子形状的振动决定水晶振动子的性能的影响很大，为了水晶晶片水晶振动子说出外形形成工程重要的工程。
在这里，石英振动子200的外形，在水晶晶片开始蚀刻加工等引起的外形形成工程而被砍伐。这个水晶振动子200，振动型陀螺仪传感器和被用振动子，振动脚和2个驱动脚201，202和一条检测脚203和有三脚架音叉型振动子。水晶振动子200，例如振动型陀螺传感器和用于场合，如图1所示的X轴方向弯曲振动驱动振动，Z′轴方向弯曲振动角速度外加场合被查出的振动和使用。因此，角速度外加状态是Z′轴方向的振动不发生。
这是，水晶振动子的加工精度及水晶的各向异性等原因，驱动振动（X轴方向的振动）之外，还有水晶振动子200角速度外加状态中发生不得面外振动（Z′轴方向的振动）发生的。
驱动脚201，202斜振动的话，检测脚203尖端的轨迹，Z′轴方向的直线性的振动，或，X - Z′面内椭圆振荡。这个Z′轴方向的振动成分泄漏振动，被称为根据这个泄漏振动检测脚203检测从电极是科里奥利输出和无关的泄漏信号发生，陀螺传感器的S / N比恶化，或温度特性恶化等的问题有了。
此外，标准的周波数发生用等的通常用途音叉型石英振荡器的情况，振动X轴方向弯曲振动利用着，Z′方向成分的泄漏振动水晶阻抗（CI值）的上升，使得特性的恶化导致的问题有了。泄漏振动，水晶振动脚截面形状的制造的偏差的影响的。特别是，显示，水晶振动子蚀刻制造时形成的残水晶渣形状的偏差的影响的。即，水晶蚀刻各向异性，结晶的方向而腐蚀速度不同的聚酰亚胺。为此，蚀刻后的水晶振动子中的振动脚的侧面是均匀蚀刻不被残有残る渣。
一般来说，梁等弯曲考虑场合，断面的主轴被考虑。断面的主轴，正交2根轴组成，梁主轴同方向弯曲力的话，梁力和同方向弯曲。另一方面，与主轴不同方向弯曲力眼镜的情况下，梁力上了方向不同的方向弯曲。水晶振动子的场合，压电效果弯曲力花费，X轴方向。因此，主轴的一方X軸和同样的话，振动X轴方向发生、不发生泄漏振动。另一方面，主轴是X轴偏离Z′方向倾斜的话，弯曲力的方向和主轴花费的方向一致，所以不振动Z′轴成份的斜振动，成为振动发生泄漏。主轴，其梁（振动脚）的截面形状来决定。简单的例子，对称轴的断面方面，其对称轴及还有垂直的轴其断面的主轴。例如，长方形的断面的话，各边的平分线各自主轴。
泄漏的水晶振动子振动不想得到的场合，主轴的一方X轴平行的必要。主轴是正交2根轴，所以X轴吗Z′轴平行的对称轴断面有，X轴平行的主轴的存在。也就是说，截面形状上下对称吗，左右对称的话是不发生泄漏振动。
已经说明的例子一样地石英水晶振子制造时，有了这种对称轴振动子得到是否考虑一下。水晶振动子潮湿蚀刻进行生产，振动脚侧面必定有残る残渣。因此，这可以残渣的方式不同，断面的主轴被决定。水晶振动子的断面的主轴的考虑，首先残渣怎么会有必要考虑。残渣的形状，蚀刻的时间和条件不同，所以不能一概不能说，不过，大体上同样的倾向前进，所以在这里发明者进行的实验条件会观察的结果的基础上残渣的方式说明会。
以上的这些本发明的第6的制造方法来看，水晶晶片的表里两面配设被腐蚀面罩之间互相规定量偏离配设会形成的水晶振动子的外形特徴付け了水晶振动子的泄漏振动方向的预先見積もれる，所以这个泄漏振动方向的基础上具备缺口部电极驱动的腿上就能形成。这个结果，制造上的偏差的面具的错位等影响不被再腐蚀工程所泄漏振动能调整，高精度泄漏振动被调整的水晶振动子可以提供。
电极形成过程中，驱动脚的电极预先缺口部，形成了这个缺口部调整区域再蚀刻的事，石英晶振的泄漏振动调整，晶片内泄漏量的偏差很大等的情况，预先形成的缺口部以外，激光加工等不同电极的加工、水晶面露出的缺口部再追加形成也行。这个电极追加加工工序，例如，第4的制造方法的时候，泄漏量测量过程（步骤ST 53）后可以追加。这个电极加工工序增添，泄漏量的调整范围，每每个元件能够扩大，所以晶片内的泄漏量的偏差很大的场合，有不良品和不泄漏量调整良品可能够扩展。
另外，泄漏振动方向估计的外形而形成的特征是，加上单面口罩和口罩交错被限定，而其他的方法也发明适用。另外，本发明实施方式提出的流程图和外形图等，这被限定，而是本发明的摘要，满足的东西的话，任何变更为好。
水晶振动子的制造方法，小型高精度泄漏振动被调整的水晶振动子以低成本提供，为了能小型高精度的陀螺传感器用水晶振动子的制造方法和颇适合。
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